皮牛级光纤微力传感器设计及工作原理
2023-12-26在微纳尺度,实现微小力的精确测量对很多学科的前沿探索有很大的推动作用。微力传感器的核心原则为器件尺寸及传感性能与使用场景的适配。其中,在准确判断微观物理过程中微小力的作用时,传感器的测量精度尤为重要。 目前已有的高精度(皮牛级)力学传感系统包括MEMS、AFM等,其通常是为特定用途而开发的,价格高昂,使用复杂,不能和柔性、可穿戴等场景相融合。 光纤力学传感器具有柔性、抗电磁干扰、全光集成等突出优势,为解决上述问题提供了新的思路。所以,开发高性能、低成本、易于使用且通用的光纤传感器具有极大意义。